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Effect of residual stress on the wear behavior of magnetron sputtered V–Al–N coatings deposited at the substrate temperature <200°C

残余应力材料科学基质（水族馆）腔磁控管冶金溅射沉积压力（语言学）复合材料薄膜溅射纳米技术语言学海洋学地质学哲学

作者

Ping Zhu,Peng Li,Fangfang Ge,Feng Huang

出处

期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier]
日期：2023-02-01 卷期号：296: 127218-127218

标识

DOI：10.1016/j.matchemphys.2022.127218

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