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Enhanced magnetic sensing performance of diamond MEMS magnetic sensor with boron-doped FeGa film

材料科学 钻石 微电子机械系统 磁场 光电子学 掺杂剂 灵敏度（控制系统） 无定形固体 兴奋剂 核磁共振 复合材料 电子工程 化学 量子力学 物理 工程类 有机化学
作者
Zilong Zhang,Liwen Sang,Jian Huang,Waiyan Chen,Linjun Wang,Y. K. Takahashi,Seiji Mitani,Yasuo Koide,Satoshi Koizumi,Meiyong Liao
出处
期刊：Carbon [Elsevier]
日期：2020-08-24 卷期号：170: 294-301 被引量：27
标识
DOI：10.1016/j.carbon.2020.08.049
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