Industrial High Throughput Emitter Formation and Thermal Oxidation for Silicon Solar Cells by the High Temperature Stack Oxidation Approach

钝化 薄脆饼 热氧化 共发射极 快速热处理 材料科学 饱和电流 氧化物 堆栈(抽象数据类型) 活化能 光电子学 分析化学(期刊) 图层(电子) 化学工程 化学 纳米技术 电气工程 冶金 电压 工程类 色谱法 有机化学 程序设计语言 计算机科学
作者
Marius Meßmer,Sabrina Lohmüller,Julian Weber,Andreas Wolf
出处
期刊:Physica Status Solidi A-applications and Materials Science [Wiley]
卷期号:218 (24) 被引量:5
标识
DOI:10.1002/pssa.202100591
摘要

Herein, the high temperature stack oxidation (HiTSOx) approach for the fabrication of passivated emitter and rear cells (PERCs) is investigated. This approach features a combination of phosphorus oxychloride (POCl 3 ) diffusion shortened to the phosphosilicate glass (PSG) deposition phase as well as high temperature thermal oxidation using stacked wafers. During the latter thermal oxidation, the incorporated phosphorus is redistributed and diffuses deeper into the silicon wafer. The simultaneously growing thermal dioxide serves as a passivation layer. Due to the use of stacked wafers, the throughput of the HiTSOx approach is three times higher in comparison to state‐of‐the‐art oxidation at moderate temperature. Applying a busbarless metallization layout, a median energy conversion efficiency of η = 22.2% is achieved for the HiTSOx approach, being similar to the performance of the reference group with state‐of‐the‐art PERC processing also with η = 22.2%. Despite stacking of the wafers during the thermal oxidation, an excellent homogeneity of the oxide layer thickness of ±1 nm over the wafer surface is found, whereas the passivation quality features dark saturation current densities j 0e as low as j 0e = (30 ± 3) fA cm −2 at emitter sheet resistances R sh = (199 ± 6) Ω sq −1 .
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
shouyu29发布了新的文献求助10
4秒前
彳亍宣完成签到 ,获得积分10
5秒前
5秒前
勤qin完成签到 ,获得积分10
5秒前
dayday完成签到,获得积分10
6秒前
李y梅子完成签到 ,获得积分10
9秒前
风清扬发布了新的文献求助20
11秒前
椰子发布了新的文献求助10
11秒前
lalala完成签到 ,获得积分10
16秒前
眼睛大唯雪完成签到 ,获得积分10
16秒前
Tonald Yang完成签到 ,获得积分20
19秒前
丘离完成签到,获得积分10
20秒前
shouyu29发布了新的文献求助10
21秒前
行云流水完成签到,获得积分10
27秒前
椰子完成签到,获得积分10
28秒前
Jason完成签到 ,获得积分10
28秒前
荣浩宇完成签到 ,获得积分10
32秒前
38秒前
美满的珠完成签到 ,获得积分10
39秒前
无敌幸运儿完成签到 ,获得积分10
41秒前
yuki完成签到,获得积分10
41秒前
乐空思应助danny采纳,获得20
43秒前
holly2048发布了新的文献求助10
44秒前
45秒前
辞却完成签到,获得积分10
49秒前
loga80完成签到,获得积分0
51秒前
晏旭完成签到,获得积分10
54秒前
闫栋完成签到 ,获得积分10
58秒前
jianhua完成签到,获得积分10
59秒前
无奈的代珊完成签到 ,获得积分10
1分钟前
嘻嘻哈哈应助风再起时采纳,获得10
1分钟前
CC完成签到 ,获得积分10
1分钟前
余生完成签到 ,获得积分10
1分钟前
cuddly完成签到 ,获得积分10
1分钟前
mianmian0118完成签到 ,获得积分10
1分钟前
英俊的铭应助杨秋艳采纳,获得10
1分钟前
伶俐的火完成签到 ,获得积分10
1分钟前
善学以致用应助limeng320采纳,获得10
1分钟前
三石完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
高分求助中
The Wiley Blackwell Companion to Diachronic and Historical Linguistics 3000
HANDBOOK OF CHEMISTRY AND PHYSICS 106th edition 1000
ASPEN Adult Nutrition Support Core Curriculum, Fourth Edition 1000
AnnualResearch andConsultation Report of Panorama survey and Investment strategy onChinaIndustry 1000
Signals, Systems, and Signal Processing 610
GMP in Practice: Regulatory Expectations for the Pharmaceutical Industry 500
领导干部角色心理研究 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6284591
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8103314
关于积分的说明 16942929
捐赠科研通 5350530
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2843793
邀请新用户注册赠送积分活动 1820894
关于科研通互助平台的介绍 1677758