Effect of annealing on the interface formation in Mo/Be multilayer structures without/with a barrier layer

作者

Aidar U. Gaisin,A.V. Karataev,Anton Solomonov,Р. С. Плешков,Н. И. Чхало,Е. О. Филатова

出处

期刊：Physical Chemistry Chemical Physics [Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01 卷期号：23 (41): 23978-23985 被引量：7

链接

nih.govdoi.org

标识

DOI：10.1039/d1cp03819b

摘要

In the present paper, the formation of an interface region in the multilayer periodic Mo/Be structure with/without a B 4 C or Si barrier layer depending on the annealing conditions was studied using X-ray photoelectron spectroscopy.

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