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作者
Yeh-Hsin Hsien,
H. K. Hsu,
T.C. Tsai,
Welch Lin,
Rao Huang,
C. H. Chen,
C. L. Yang,
J. Y. Wu
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2011-05-26
卷期号：92: 19-23
被引量：35
标识
DOI：10.1016/j.mee.2011.04.013
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