A multi-probe micro-fabrication apparatus based on the friction-induced fabrication method

作者
Zhijiang Wu,Chenfei Song,Jian Guo,Bingjun Yu,Linmao Qian
出处
期刊:Frontiers of Mechanical Engineering [Higher Education Press]
卷期号:8 (4): 333-339 被引量:12
标识
DOI:10.1007/s11465-013-0276-4

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