Enhancement of ionized metal flux fraction without compromising deposition rate in industrial magnetron sputtering

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作者
Peter Klein,Jaroslav Hnilica,Vjačeslav Sochora,Pavel Souček,Matej Fekete,Petr Vašina
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:489: 131142-131142 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2024.131142
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