Impact of Interface Trap Charges on Silicon Carbide (4H-SiC) Based Gate – Stack, Dual Metal, Surrounding Gate, FET (4H-SiC- GSDM-SGFET) for Analog and Noise Performance Analysis for 5 G/LTE Applications

材料科学 光电子学 跨导 栅极电介质 碳化硅 金属浇口 栅氧化层 CMOS芯片 高-κ电介质 逆变器 电气工程 电介质 电压 晶体管 复合材料 工程类
作者
Neeraj Neeraj,Shobha Sharma,Anubha Goel,Sonam Rewari,S. S. Deswal,R. S. Gupta
出处
期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology [Institute of Physics]
卷期号:13 (7): 073015-073015
标识
DOI:10.1149/2162-8777/ad6502
摘要

This article examines the impact of various interface trap charges on silicon carbide-based gate—stack, dual metal, surrounding gate, FET (4H-SiC-GSDM-SGFET). It has been contrasted for performance with silicon carbide (4H-SiC)-based dual metal, surrounding gate, FET (4H-SiC-DM- SGFET). For both devices, output characteristics including transconductance (g m ), output conductance (g d ), drain current (I ds ), gate capacitance (C gg ), cutoff frequency (f T ) and threshold voltage (Vth) have been examined. Surface potential and electron concentration were also inspected using a contour plot for both the device structures. A gate-stack with a high k- dielectric, Lanthanum oxide (La 2 O 3 ) along with gate dielectric layer Aluminum oxide (Al 2 O 3 ) was used for proposed structure implementation. Additionally, we investigated how trap charges affect noise figure (NF) and noise conductance (NC). Also, a CMOS inverter has been developed and its output characteristics have been compared for both the device architectures. ATLAS 3-D device simulator has been employed to conduct the simulations.
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