A review on microelectrode array fabrication techniques and their applications

微加工 微电极 生物传感器 多电极阵列 纳米技术 制作 光刻 材料科学 小型化 电极 化学 医学 病理 物理化学 替代医学
作者
A. Tanwar,H.A. Gandhi,D. Kushwaha,Jaydeep Bhattacharya
出处
期刊:Materials Today Chemistry [Elsevier BV]
卷期号:26: 101153-101153 被引量:41
标识
DOI:10.1016/j.mtchem.2022.101153
摘要

Biosensors are an important tool for the detection and quantitative analysis of biomolecules and chemical compounds. There are a number of biosensors available based on the measurement of light, pH, electric current, pressure, etc. A microelectrode array (MEA) is one such biosensing device that detects changes in current, impedance, and potential. Due to its large number of applications in biosensing, electrophysiological studies of a cell, and drug screening, MEAs are widely used. In an MEA, sensing is achieved through microelectrodes, and based on the substrate used for MEA fabrication, MEAs can be rigid or flexible. Microelectrodes are developed by a process known as “microfabrication.” The process of microfabrication includes techniques like photolithography, screen printing, laser patterning, 3D printing, etc. This review discusses different MEAs and techniques used for their fabrication with recent applications.
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