Aberration analysis and compensate method of BP neural network and sparrow search algorithm in deep ultraviolet lithography

光学 平版印刷术 人工神经网络 极紫外光刻 紫外线 计算机科学 算法
作者
Shuang Zhang,Libin Zhang,Tianyang Gai,peng xu,Yayi Wei
出处
期刊:Applied Optics [The Optical Society]
标识
DOI:10.1364/ao.462436

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
SASA完成签到,获得积分10
刚刚
量子星尘发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
刚刚
偶然的风41177完成签到,获得积分10
刚刚
刚刚
Ava应助23333采纳,获得10
1秒前
PziPzi发布了新的文献求助10
2秒前
完美世界应助冷艳的纸鹤采纳,获得10
2秒前
Jasper应助123123332采纳,获得10
3秒前
萌新完成签到,获得积分10
3秒前
20231125完成签到,获得积分10
3秒前
allenice完成签到,获得积分0
4秒前
FashionBoy应助坦率的平彤采纳,获得10
4秒前
庾幻儿完成签到,获得积分10
4秒前
麦兜完成签到,获得积分10
5秒前
谦让安双完成签到,获得积分10
5秒前
Ru发布了新的文献求助10
5秒前
hildelau发布了新的文献求助10
5秒前
星黛Lu完成签到,获得积分10
6秒前
kangaroo发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
6秒前
6秒前
Lucas应助rxn824采纳,获得10
6秒前
孙美娜完成签到,获得积分10
6秒前
giugiu发布了新的文献求助10
6秒前
李可心发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
7秒前
lc完成签到,获得积分20
7秒前
领导范儿应助张世瑞采纳,获得10
7秒前
hannah发布了新的文献求助50
7秒前
舒心雁风完成签到 ,获得积分10
8秒前
8秒前
8秒前
王空空完成签到,获得积分20
8秒前
9秒前
小蘑菇应助corrine1426采纳,获得10
9秒前
嫣然完成签到 ,获得积分10
9秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Aerospace Standards Index - 2026 ASIN2026 3000
Relation between chemical structure and local anesthetic action: tertiary alkylamine derivatives of diphenylhydantoin 1000
Signals, Systems, and Signal Processing 610
Discrete-Time Signals and Systems 610
Principles of town planning : translating concepts to applications 500
Work Engagement and Employee Well-being 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 纳米技术 有机化学 物理 生物化学 化学工程 计算机科学 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 物理化学 电极 冶金 遗传学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6067587
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 7899596
关于积分的说明 16327072
捐赠科研通 5209311
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2786465
邀请新用户注册赠送积分活动 1769296
关于科研通互助平台的介绍 1647858