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Aberration analysis and compensate method of BP neural network and sparrow search algorithm in deep ultraviolet lithography
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作者
Shuang Zhang,
Libin Zhang,
Tianyang Gai,
peng xu,
Yayi Wei
出处
期刊：
Applied Optics
[The Optical Society]
日期：2022-06-23
标识
DOI：10.1364/ao.462436
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