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Aberration analysis and compensate method of BP neural network and sparrow search algorithm in deep ultraviolet lithography

光学平版印刷术人工神经网络极紫外光刻紫外线计算机科学算法

作者

Shuang Zhang,Libin Zhang,Tianyang Gai,peng xu,Yayi Wei

出处

期刊：Applied Optics [The Optical Society]
日期：2022-06-23

标识

DOI：10.1364/ao.462436

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