Aberration analysis and compensate method of BP neural network and sparrow search algorithm in deep ultraviolet lithography

光学 平版印刷术 人工神经网络 极紫外光刻 紫外线 计算机科学 算法
作者
Shuang Zhang,Libin Zhang,Tianyang Gai,peng xu,Yayi Wei
出处
期刊:Applied Optics [The Optical Society]
标识
DOI:10.1364/ao.462436

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