等离子体增强化学气相沉积
硅烷
非晶硅
材料科学
硅
沉积(地质)
三极管
二极管
化学工程
光电子学
复合材料
晶体硅
电气工程
电容器
生物
沉积物
工程类
古生物学
电压
作者
Yu. E. Gorbachev,M. A. Zatevakhin,Valeria V. Krzhizhanovskaya,V. A. Shveigert
出处
期刊:Technical Physics
[Pleiades Publishing]
日期:2000-08-01
卷期号:45 (8): 1032-1041
被引量:10
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI