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Physical vapour deposition of vanadium dioxide for thermochromic smart window applications

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作者
Tuan Duc Vu,Zhang Chen,Xin Zeng,Jian Meng,Shiyu Liu,Yanfeng Gao,Yi Long
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [The Royal Society of Chemistry]
日期：2019-01-01 卷期号：7 (8): 2121-2145 被引量：83
标识
DOI：10.1039/c8tc05014g
摘要
In this paper, various PVD techniques, such as pulsed laser deposition (PLD), evaporation decomposition (ED) and sputtering, are examined with respect to their conditions for VO2fabrication, film quality and the strategies for film improvements.
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