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作者
Tuan Duc Vu,
Zhang Chen,
Xin Zeng,
Jian Meng,
Shiyu Liu,
Yanfeng Gao,
Yi Long
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2019-01-01
卷期号：7 (8): 2121-2145
被引量：83
标识
DOI：10.1039/c8tc05014g
摘要
In this paper, various PVD techniques, such as pulsed laser deposition (PLD), evaporation decomposition (ED) and sputtering, are examined with respect to their conditions for VO
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fabrication, film quality and the strategies for film improvements.
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