Deep Reactive Ion Etching of Polyimide for Microfluidic Applications

聚酰亚胺 反应离子刻蚀 材料科学 蚀刻(微加工) 微流控 深反应离子刻蚀 纳米技术 光电子学 图层(电子)
作者
T. N. T. Nguyen,Nae‐Eung Lee
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:51 (3): 984-984 被引量:13
标识
DOI:10.3938/jkps.51.984

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