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Fabrication of Fresnel zone plates with 25nm zone width using extreme ultraviolet holography
作者
Sankha S. Sarkar,
Harun H. Solak,
Jörg Raabe,
Christian Dávid,
J. F. van der Veen
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-12-24
卷期号：87 (5-8): 854-858
被引量：14
链接
lib4ri.ch
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.12.053
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