Kinetics of the WF6 and Si2H6 surface reactions during tungsten atomic layer deposition

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作者
Jeffrey W. Elam,Christopher E. Nelson,Robert K. Grubbs,Steven M. George
出处
期刊:Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:479 (1-3): 121-135 被引量:63
标识
DOI:10.1016/s0039-6028(01)00969-4
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