二硅烷
粘着系数
钨
原子层沉积
化学
饱和(图论)
分析化学(期刊)
化学气相沉积
硅
沉积(地质)
图层(电子)
物理化学
环境化学
吸附
古生物学
解吸
有机化学
组合数学
生物
数学
沉积物
作者
Jeffrey W. Elam,Christopher E. Nelson,Robert K. Grubbs,Steven M. George
出处
期刊:Surface Science
[Elsevier BV]
日期:2001-05-01
卷期号:479 (1-3): 121-135
被引量:63
标识
DOI:10.1016/s0039-6028(01)00969-4
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI