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Influence of Carbon in Metalorganic Chemical Vapor Deposition of Few-Layer WSe2 Thin Films

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作者
Xiaotian Zhang,Zakaria Y. Al Balushi,Fu Zhang,Tanushree H. Choudhury,Sarah M. Eichfeld,Nasim Alem,Thomas N. Jackson,Joshua A. Robinson,Joan M. Redwing
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2016-10-20 卷期号：45 (12): 6273-6279 被引量：57
标识
DOI：10.1007/s11664-016-5033-0
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