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Effects of substrate temperature on the uniformity of InGaAs epilayers using a dual-zone manipulator

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作者
Hongzhen Wang,Shalu Zhu,Liuyan Fan,Yi Gu,Pingping Chen,Shumin Wang,Jiasheng Cao,Bo Yang,Tao Li,Xiumei Shao,Xue Li,Haimei Gong
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2021-09-02 卷期号：574: 126330-126330 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2021.126330
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