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作者
Yuying Wang,
Huijie Yan,
Hongfei Guo,
Yongfeng Xu,
Quan‐Zhi Zhang,
Jian Song
出处
期刊：
Plasma Sources Science and Technology
[IOP Publishing]
日期：2021-04-26
被引量：19
标识
DOI：10.1088/1361-6595/abfbc6
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