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Influences of Hydrogen on the Evolution of the Electrical Resistivity Of Ultra-Thin Sputtered Copper Films Measured in Real-Time

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作者
E. V. Barnat,P. -I. Wang,D. Nagakura,Toh‐Ming Lu
出处
期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：2002-01-01 卷期号：721 被引量：1
标识
DOI：10.1557/proc-721-j3.6
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