微电子机械系统
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作者
Mitsuo Usui,S. Uchiyama,Etsu Hashimoto,Koichi Hadama,Yuzo Ishii,Nobuaki Matsuura,Tomomi Sakata,Nobuhiro Shimoyama,Yasuhiro Sato,Hiroyuki Ishii,Tohru Matsuura,Fusao Shimokawa,Yuji Uenishi
标识
DOI：10.1109/omems.2009.5338611
摘要
A novel two-axis MEMS mirror array module for wavelength selective switches feature a new electrode structure that reduces electrical interference between adjacent channels. The fabricated 50-channel mirror module has good characteristics satisfying system requirements.
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