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Mathematical modelling of indirect measurements in scatterometry
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作者
H. Gross,
R. Model,
M. Bär,
M. Wurm,
Bernd Bodermann,
Andreas Rathsfeld
出处
期刊：
Measurement
[Elsevier BV]
日期：2006-05-06
卷期号：39 (9): 782-794
被引量：73
标识
DOI：10.1016/j.measurement.2006.04.009
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