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Two-Stage Micropyramids Enhanced Flexible Piezoresistive Sensor for Health Monitoring and Human–Computer Interaction

材料科学 压阻效应 压力传感器 灵敏度(控制系统) 纳米技术 光电子学 电子工程 机械工程 工程类
作者
Zhihao Chen,Changming Qu,Jingjing Yao,Yuanlong Zhang,Yun Xu
出处
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
卷期号:16 (6): 7640-7649 被引量:76
标识
DOI:10.1021/acsami.3c18788
摘要

High-performance flexible piezoresistive sensors are becoming increasingly essential in various novel applications such as health monitoring, soft robotics, and human–computer interaction. The evolution of the interfacial contact morphology determines the sensing properties of piezoresistive devices. The introduction of microstructures enriches the interfacial contact morphology and effectively boosts the sensitivity; however, the limited compressibility of conventional microstructures leads to rapid saturation of the sensitivity in the low-pressure range, which hinders their application. Herein, we present a flexible piezoresistive sensor featuring a two-stage micropyramid array structure, which effectively enhances the sensitivity while widening the sensing range. Owing to the synergistic enhancement effect resulting from the sequential contact of micropyramids of various heights, the devices demonstrate remarkable performance, including boosting sensitivity (30.8 kPa–1) over a wide sensing range (up to 200 kPa), a fast response/recovery time (75/50 ms), and an ultralong durability of 15,000 loading–unloading cycles. As a proof of concept, the sensor is applied to detect human physiological and motion signals, further demonstrating a real-time spatial pressure distribution sensing system and a game control system, showing great potential for applications in health monitoring and human–computer interaction.
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