Unintentional p-type conductivity in intrinsic Ge-rich SiGe/Ge heterostructures grown on Si(001)

异质结 材料科学 接受者 深能级瞬态光谱 电导率 凝聚态物理 载流子 俘获 电阻率和电导率 电子迁移率 霍尔效应 晶体缺陷 光电子学 化学 物理 生物 生态学 物理化学 量子力学
作者
H. Tetzner,W. Seifert,Oliver Skibitzki,Y. Yamamoto,Marco Lisker,Muhammad Mirza,Inga A. Fischer,Douglas J. Paul,M. De Seta,Giovanni Capellini
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:122 (24) 被引量:3
标识
DOI:10.1063/5.0152962
摘要

In this work, we investigate the effective background charge density in intrinsic Si0.06Ge0.94/Ge plastically relaxed heterostructures deposited on Si(001). Hall effect measurements and capacitance–voltage profiling reveal a p-type conductivity in the nominally intrinsic layer with a hole concentration in the mid 1015 cm−3 range at temperatures between 50 and 200 K. In view of the carrier freeze out that we observe below 50 K, we attribute the origin of these carriers to the ionization of shallow acceptor-like defect states above the valence band. In addition, one dominant hole trap located at mid-gap position is found by deep level transient spectroscopy. Carrier trapping kinetics measurements can be interpreted as due to a combination of point defects, likely trapped in the strain field of extended defects, i.e., the threading dislocation.

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