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Heterogeneous wafer bonding of ultra-wide bandgap Ga2O3: a review

材料科学 薄脆饼 带隙 光电子学 纳米技术 晶片键合 工程物理 工程类
作者
Xiaoxue Li,Qian Zhang,Jun Liu,Bo Zhao,Chengguo Li,Qixin Wan,Cong Jiang,Jiayun Wei,Wei Han,Baoyuan Wang,Lin Lv,Chen Xu,Hao Wang,Hao Wang
出处
期刊：Materials Today Physics [Elsevier BV]
日期：2024-09-01 卷期号：: 101557-101557
标识
DOI：10.1016/j.mtphys.2024.101557
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