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High-κ dielectric and metal gate

作者
Chao Zhao,X. Wang,W. Wang
出处
期刊：Elsevier eBooks [Elsevier BV]
日期：2018-01-01 卷期号：: 69-103 被引量：4
标识
DOI：10.1016/b978-0-08-102139-2.00004-5
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