Comportement thermique de films minces de verres GeSey

2014 Des films minces de verres de chalcogénure GeSey ont été préparés par PECVD en vue d'applications pour la lithographie.Leur morphologie à différentes températures est observée par microscopie électronique.Leur composition locale est évaluée par analyse X.Abstract . 2014Thin films of chalcogenide glasses GeSey were prepared by PECVD for lithographic application.Their morphology at different temperatures is observed by electron microscopy.Their local composition is evaluated by X analysis.Microsc.Microanal Microstruct.