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Sensitivity analysis and tolerancing of Mid Wave IR metalenses
制作
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图层（电子）
作者
Lieven Penninck,
Wouter Woestenborghs
出处
期刊：
日期：2021-01-01
卷期号：: FTu4A.4-FTu4A.4
标识
DOI：10.1364/flatoptics.2021.ftu4a.4
摘要
We analyze the sensitivity of mid IR metalenses to fabrication imperfections. We simulate the sensitivity of lens performance to imperfections in the fabrication of meta-atoms such as over/under etching, structure dimensions, and film thickness.
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