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高透明低方阻ITO—Ag—ITO柔性镀膜技术
计算机科学
作者
胡去慧,
李京增,
余圣发,
彭晶,
苏丹丹,
彭传才,
Wei Li,
Jiang Li,
刘婧
出处
期刊:真空
日期:2001-01-01
卷期号: (2): 36-38
链接
cqvip.com
摘要
高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明,ITO-Ag-ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产,性能优异,工艺稳定,系统可靠。
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