高透明低方阻ITO—Ag—ITO柔性镀膜技术

计算机科学
作者
胡去慧,李京增,余圣发,彭晶,苏丹丹,彭传才,Wei Li,Jiang Li,刘婧
出处
期刊:真空 卷期号: (2): 36-38
摘要

高透明低方阻ITO-Ag-ITO柔性薄膜具有广泛的用途。本文介绍了膜系设计、工艺参数及控制。对设备结构也做了简要叙述。测试结果表明,ITO-Ag-ITO多层膜采用连续卷绕镀的方法生产,性能优异,工艺稳定,系统可靠。
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