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Interplay between oxygen defects and dopants: effect on structure and performance of HfO2-based ferroelectrics

掺杂剂 材料科学 可靠性（半导体） 铁电性 半导体 氧气 相（物质） 兴奋剂 光电子学 薄膜 工程物理 纳米技术 化学 热力学 工程类 物理 电介质 功率（物理） 有机化学
作者
Monica Materano,Patrick D. Lomenzo,Alfred Kersch,Min Hyuk Park,Thomas Mikolajick,Uwe Schroeder
出处
期刊：Inorganic chemistry frontiers [Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01 卷期号：8 (10): 2650-2672 被引量：97
链接
rsc.orgdoi.org
标识
DOI：10.1039/d1qi00167a
摘要
A review on ferroelectric phase formation and reliability in HfO2-based thin films and semiconductor devices.
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