Microwave Plasma Etching Treatment for Single Crystal Diamond

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作者
Xiaotong Han,Yan Peng,Xiwei Wang,Peng Duan,Xiufei Hu,Yiqiu Yang,Bin Li,Xiangang Xu,Xiaobo Hu,Dufu Wang
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
卷期号:51 (9): 4995-5004 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s11664-022-09735-z
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