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A study of the phase transformation of low temperature deposited tantalum thin films using high power impulse magnetron sputtering and pulsed DC magnetron sputtering
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作者
Wei-Chieh Chen,
Zhaoying Wang,
Chiao-Yi Yu,
Bo-Huei Liao,
Ming-Tzer Lin
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期：2022-02-28
卷期号：436: 128288-128288
被引量：21
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2022.128288
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