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Synergistic effects of PBTCA and ABO on the chemical mechanical polishing of titanium barrier layers in TSV application

抛光 ABO血型系统钛化学机械平面化材料科学复合材料冶金医学免疫学

作者

Le Zhai,Xueli Yang,Liunan She,Yingqi Di,Guofeng Pan,Jie Cheng

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-01-01 卷期号：: 162438-162438 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2025.162438

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