High conductivity in Ge-doped AlN achieved by a non-equilibrium process

电导率 兴奋剂 材料科学 退火(玻璃) 光致发光 浅层供体 热导率 分析化学(期刊) 电阻率和电导率 离子注入 深能级瞬态光谱 电离能 电离 光电子学 离子 化学 冶金 物理化学 复合材料 电气工程 有机化学 色谱法 工程类
作者
Pegah Bagheri,Cristyan Quiñones-García,Dolar Khachariya,James Loveless,Yan Guan,Shashwat Rathkanthiwar,Pramod Reddy,Ronny Kirste,Seiji Mita,James Tweedie,Ramón Collazo,Zlatko Sitar
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:122 (14) 被引量:8
标识
DOI:10.1063/5.0146439
摘要

Highly conductive Ge-doped AlN with conductivity of 0.3 (Ω cm)−1 and electron concentration of 2 × 1018 cm−3 was realized via a non-equilibrium process comprising ion implantation and annealing at a moderate thermal budget. Similar to a previously demonstrated shallow donor state in Si-implanted AlN, Ge implantation also showed a shallow donor behavior in AlN with an ionization energy ∼80 meV. Ge showed a 3× higher conductivity than its Si counterpart for a similar doping level. Photoluminescence spectroscopy indicated that higher conductivity for Ge-doped AlN was achieved primarily due to lower compensation. This is the highest n-type conductivity reported for AlN doped with Ge to date and demonstration of technologically useful conductivity in Ge-doped AlN.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
11111111发布了新的文献求助10
1秒前
dsajkdlas发布了新的文献求助10
1秒前
现实世界npc完成签到 ,获得积分10
1秒前
XIAOJU_U完成签到 ,获得积分10
3秒前
木槿完成签到,获得积分10
3秒前
chenxi3099完成签到,获得积分10
4秒前
Vv完成签到 ,获得积分10
4秒前
5秒前
黎野发布了新的文献求助10
5秒前
ding应助小金采纳,获得10
5秒前
步行街车神ahua完成签到,获得积分10
6秒前
雨小科完成签到 ,获得积分10
6秒前
科研王发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
科研通AI6应助dsajkdlas采纳,获得10
6秒前
隐形曼青应助dsajkdlas采纳,获得10
6秒前
隐形曼青应助xiaoliang采纳,获得10
6秒前
清欢发布了新的文献求助10
6秒前
典雅易槐完成签到,获得积分10
7秒前
言屿完成签到,获得积分10
8秒前
8秒前
科研通AI6应助殷勤的天亦采纳,获得10
9秒前
9秒前
无花果应助LLL采纳,获得10
9秒前
领导范儿应助ShawnJohn采纳,获得10
9秒前
Definde发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
健壮的香蕉完成签到,获得积分10
10秒前
Jasper应助wangyali采纳,获得10
11秒前
11秒前
11秒前
11秒前
烟花应助浅呀呀呀采纳,获得10
12秒前
小蘑菇应助Missyang采纳,获得10
12秒前
戴帽子的花盆完成签到,获得积分10
12秒前
samuelx1e发布了新的文献求助10
13秒前
花生米发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
透明的世界应助marker_采纳,获得10
14秒前
高分求助中
Encyclopedia of Quaternary Science Third edition 2025 12000
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
The Social Work Ethics Casebook: Cases and Commentary (revised 2nd ed.). Frederic G. Reamer 800
Beyond the sentence : discourse and sentential form / edited by Jessica R. Wirth 600
Holistic Discourse Analysis 600
Vertébrés continentaux du Crétacé supérieur de Provence (Sud-Est de la France) 600
Reliability Monitoring Program 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5340428
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4476928
关于积分的说明 13933312
捐赠科研通 4372740
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2402526
邀请新用户注册赠送积分活动 1395409
关于科研通互助平台的介绍 1367489