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On direct-current magnetron sputtering at industrial conditions with high ionization fraction of sputtered species

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作者

Jaroslav Hnilica,Peter Klein,M. Učík,Stanislava Debnárová,J. Klusoň,Petr Vašina

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2024-06-19 卷期号：487: 131028-131028 被引量：5

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2024.131028

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