Formation of diamond trenches with flat {111} sidewalls via thermochemical etching by Ni films in water vapor

材料科学 平坦度(宇宙学) 钻石 蚀刻(微加工) 光电子学 纳米技术 各向同性腐蚀 水蒸气 纳米尺度 反应离子刻蚀 金属有机气相外延 制作 干法蚀刻 晶体管 化学气相沉积 人造金刚石
作者
Masatsugu Nagai,Tsubasa Matsumoto,Satoshi Yamasaki,Norio Tokuda,Moriyoshi Haruyama,Yukako Kato,Hironori Yoshioka,Hitoshi UMEZAWA,Hiromitsu Kato,Masahiko Ogura,Daisuke Takeuchi,Yoshiyuki Miyamoto,Toshiharu Makino,Masatsugu Nagai,Tsubasa Matsumoto,Satoshi Yamasaki,Norio Tokuda,Moriyoshi Haruyama,Yukako Kato,Hironori Yoshioka
出处
期刊:Applied surface science advances [Elsevier BV]
卷期号:30: 100898-100898
标识
DOI:10.1016/j.apsadv.2025.100898

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