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计量学 半导体器件制造 计算机科学 过程（计算） 过程控制 控制（管理） 生产力 生产控制 尺寸计量学 半导体工业 生产（经济） 分数（化学） 制造工程 测量不确定度 先进过程控制 控制工程 可靠性工程 控制系统 制造工艺 制造业
作者
Pilsung Kang,Dongil Kim,Hyoungjoo Lee,Seungyong Doh,Sungzoon Cho
出处
期刊：Expert Systems With Applications [Elsevier BV]
日期：2010-09-13 卷期号：38 (3): 2508-2522 被引量：108
链接
handle.netdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.eswa.2010.08.040
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