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Model on transport phenomena and epitaxial growth of silicon thin film in SiHCl3H2 system under atmospheric pressure

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作者
Hitoshi Habuka,Takatoshi Nagoya,Masanori Mayusumi,Masatake Katayama,Manabu Shimada,Kikuo Okuyama
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:169 (1): 61-72 被引量:103
标识
DOI:10.1016/0022-0248(96)00376-4

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