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Influence of generation control of the magnetron plasma on structure and properties of copper nitride layers

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作者
Katarzyna Nowakowska‐Langier,Łukasz Skowroński,Rafał Choduń,Sebastian Okrasa,Grzegorz W. Strzelecki,Magdalena Wilczopolska,Bartosz Wicher,R. Mirowski,Krzysztof Zdunek
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2019-12-10 卷期号：694: 137731-137731 被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2019.137731
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