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Synergistic Effect of Plasma Discharge and Substrate Temperature in Improving the Crystallization of $$\hbox {TiO}_2$$ TiO 2 Film by Atmospheric Pressure Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
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作者
Yu Xu,
Yu Zhang,
Linjun Li,
Ke Ding,
Ying Guo,
Jianjun Shi,
Xiaojiang Huang,
Jing Zhang
出处
期刊：
Plasma Chemistry and Plasma Processing
[Springer Science+Business Media]
日期：2019-02-15
卷期号：39 (4): 937-947
被引量：14
标识
DOI：10.1007/s11090-019-09961-0
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