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Removal of photoresist residues and healing of defects on graphene using H2 and CH4 plasma

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作者
Hyeju Yun,Songjae Lee,Dae-Sung Jung,Geonhee Lee,Jisang Park,Oh Jin Kwon,Dong Ju Lee,Chong‐Yun Park
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2018-08-24 卷期号：463: 802-808 被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2018.08.202
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