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Design, modelling and testing of a stiffness-adjustable 2-DOF fully-decoupled micro-positioning stage for micro-nano scale scanning measurements
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作者
Zhichao Wen,
Ning Chen,
Chuan Tian,
Jiateng Rong,
Fuchun Yang
出处
期刊：
Measurement
[Elsevier BV]
日期：2025-07-23
卷期号：256: 118514-118514
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.measurement.2025.118514
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