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Atomic surface induced by novel green chemical mechanical polishing for aspheric thin-walled crucibles with large diameters

材料科学 X射线光电子能谱 抛光 表面粗糙度 扫描电子显微镜 化学机械平面化 拉曼光谱 复合材料 分析化学（期刊） 化学工程 光学 化学 色谱法 物理 工程类
作者
Xiangxiang Cui,Zhenyu Zhang,Chunjing Shi,Qibo Peng,Xiaoyu Liu,Xiuqing Liu,Hongxiu Zhou,Junyuan Feng,Wei Wen
出处
期刊：Journal of Manufacturing Processes [Elsevier BV]
日期：2024-03-08 卷期号：117: 59-70 被引量：38
标识
DOI：10.1016/j.jmapro.2024.03.014
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