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Erosion resistance of Y2O3 ceramics in CF4 etching plasma: Microstructural evolution and mechanical properties
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作者
Desen Zhao,
Liuying Huang,
Cai Gong,
Yuxi Yu
出处
期刊：
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期：2024-06-12
卷期号：669: 160509-160509
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160509
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