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The fabrication of nano-scale fin LEDs using nanoimprinting lithography

制作 平版印刷术 材料科学 发光二极管 纳米- 纳米尺度 纳米光刻 纳米技术 纳米压印光刻 鳍 下一代光刻 光电子学 抵抗 电子束光刻 复合材料 病理 医学 替代医学 图层（电子）
作者
Yeongbeen Oh,SeungJe Lee,Keyong Nam Lee,Young Rag
标识
DOI：10.1117/12.3051226
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