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Linearly Sensitive Pressure Sensor Based on a Porous Multistacked Composite Structure with Controlled Mechanical and Electrical Properties

材料科学 线性 压力传感器 电容感应 聚二甲基硅氧烷 碳纳米管 复合材料 再现性 灵敏度(控制系统) 光电子学 电介质 重复性 纳米技术 电子工程 电气工程 机械工程 统计 工程类 化学 色谱法 数学
作者
Young Jin Jung,Tae-Han Lee,Jiyoon Oh,Byunggeon Park,Jong Soo Ko,Hyeok Kim,Jong Pil Yun,Hanchul Cho
出处
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
卷期号:13 (24): 28975-28984 被引量:37
标识
DOI:10.1021/acsami.1c07640
摘要

Capacitive pressure sensors based on porous structures have been extensively explored for various applications because their sensing performance is superior to that of conventional polymer sensors. However, it is challenging to develop sufficiently sensitive pressure sensors with linearity over a wide pressure range owing to the trade-off between linearity and sensitivity. This study demonstrates a novel strategy for the fabrication of a pressure sensor consisting of stacked carbon nanotubes (CNTs) and polydimethylsiloxane. With the addition of carbon nanotubes, the structure is linearly compressed due to the reinforced mechanical properties, thereby resulting in high linearity. Additionally, the percolation effect is boosted by the CNTs having a high dielectric constant, thus improving the sensitivity. The pressure sensor exhibits linear sensitivity (R2 = 0.991) in the medium-pressure range (10–100 kPa). Furthermore, it delivers excellent performance with a fast response time (∼60 ms), in conjunction with high repeatability, reproducibility, and reliability (5 and 50 kPa/1000 cycles). The fabricated sensors are applied in wearable devices to monitor finger bending and detect finger motions in real time with high precision. The large-area sensor is integrated with a neural network to accurately recognize the sitting posture on a plane, thereby demonstrating the wide-range detection performance.
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