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Metal Contamination on Silicon Surfaces from Solvents

材料科学 污染 硅 金属 冶金 纳米技术 生态学 生物
作者
Twan Bearda,Ief Vander Mot,Kristel Van den Broeck,N. Van Hoornick,Jan Van Hoeymissen,Paul Mertens
出处
期刊：Solid State Phenomena 日期：2005-04-01 卷期号：103-104: 269-274 被引量：2
标识
DOI：10.4028/www.scientific.net/ssp.103-104.269
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