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KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications

薄脆饼 微电子机械系统 执行机构 材料科学 压电 电容器 悬臂梁 光电子学 电介质 铁电性 硅 电子工程 电气工程 电压 复合材料 工程类
作者
Hugo Kuentz,C. Dieppedale,L. Mollard,Romain Liechti,Alain Campo,Antoine Hamelin,Valérie Demange,Christophe Poulain,Maryline Guilloux‐Viry,G. Le Rhun
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2024-04-09 卷期号：372: 115370-115370 被引量：5
链接
hal.sciencedoi.org
标识
DOI：10.1016/j.sna.2024.115370
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