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KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications

薄脆饼 微电子机械系统 执行机构 材料科学 压电 电容器 悬臂梁 光电子学 电介质 铁电性 电子工程 电气工程 电压 复合材料 工程类
作者
Hugo Kuentz,C. Dieppedale,L. Mollard,Romain Liechti,Alain Campo,Antoine Hamelin,Valérie Demange,Christophe Poulain,Maryline Guilloux‐Viry,G. Le Rhun
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:372: 115370-115370 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.sna.2024.115370
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