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Hard X-ray HfO2/Al2O3 multilayers fabricated by atomic layer deposition

原子层沉积图层（电子）材料科学沉积（地质）纳米技术地质学古生物学沉积物

作者

Yanli Li,Weier Lu,Wensi Lv,Xiangdong Kong,He Zhang,Li Han

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2024-07-28 卷期号：803: 140479-140479

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2024.140479

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