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氮化硅
作者
Pauline Lefèbvre,
F. Charlot,
Stéphane Coindeau,
G. Berthomé,
Nicolas Coulmy,
Pascal Hagenmuller,
Arnaud Mantoux,
Elisabeth Blanquet
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2026-02-17
卷期号：248: 115198-115198
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2026.115198
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