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The high energy resolution of Pt/Si alpha particle detector with Al2O3 passivation layer

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作者
Bolong Wang,Rui Jia,Ke Tao,Wei Luo,Longjie Wang,Danni Zhang,Jiawang Chen,C. J. Lin,Yun Yang,Xing Li,Xiaoping Ouyang
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2022-08-31 卷期号：152: 107054-107054 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2022.107054
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